激光微机械加工:超快扫描

2018-04-20

Laser micro-machining: ultrafast scanning

Ting-Hsuan Chen, Romain Fardel & Craig B Arnold

Citation: Light: Science & Applications (2018)7, 17181;doi:10.1038/lsa.2017.181

Publishedonline 20 April 2018

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文章概要:激光微机械加工:超快扫描

美国普林斯顿大学Ting-HsuanChen及其同事发现,通过沿着光轴快速扫描聚焦的激光点,可以改善激光微机械加工的生产量和容差。该团队建立了一个微型加工系统,将发射紫外光(355 nm波长、15 ns持续脉冲)的高重复率Nd:YVO4激光器与由声学驱动的可变焦距镜头制成的超快Z-扫描器相结合。该方法意味着激光脉冲可以聚焦到样品的不同位置,从而放宽了对样品表面平整度和定位的要求。这也使得机械加工速度更快,通过硅样品的实验表明,在加工200×200μm的方孔时,加工速度提高了三倍,且质量并没有降低。